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電阻率儀的基礎(chǔ)知識(shí)

發(fā)布時(shí)間: 2023-02-10  點(diǎn)擊次數(shù): 602次
   電阻率儀是用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、錯(cuò)單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。測試儀主機(jī)由主機(jī)板、電源板、前面板、后背板、機(jī)箱組成。電壓表、電流表、電流調(diào)節(jié)電位器、恒流源開關(guān)及各種選擇開關(guān)均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、四探針頭連接插座、數(shù)據(jù)處理器連接插座及保險(xiǎn)管。機(jī)箱底座上安裝了主機(jī)板及電源板,相互間均通過接插件聯(lián)接。
 
  電阻率測試儀配有恒流源開關(guān),在測量某些薄層材料時(shí),可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配數(shù)據(jù)處理器,測量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的百分比變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度,給測量帶來很大方便。
 
  電阻率測試儀適用:電線電纜行業(yè)、導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料行業(yè),碳素、焦化、石化、粉末冶金、高等院校、科研部門對新材料之研究,是檢驗(yàn)和分析材料樣品質(zhì)量的一種重要的工具及有效方法。
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